Fitur produk
Mendukung berbagai versi (PLC/PC) dan berbagai protokol komunikasi utama;
Desain dan produksi dilakukan sesuai dengan standar produksi keselamatan SEMI;
Kapasitas desain saluran tinggi, UPH400~550pcs;
Cocok untuk berbagai dimensi produk dan majalah;
Desain yang dipatenkan pada tingkat wafer MFC, mencegah kebocoran gas yang menyebabkan kecelakaan keselamatan (mendukung gas-berisiko tinggi seperti hidrogen);
Desain ruang penyegelan tinggi yang dipatenkan, hingga 5pa;
Sudut kontak air<10° (related to the material of product surface);
Desain empat saluran untuk pemrosesan 4 produk secara bersamaan, dengan elektroda bawah ganda, mengurangi waktu masuk dan keluar papan, meningkatkan efisiensi secara signifikan, dan memastikan keseragaman produk dalam pemrosesan.
spesifikasi teknis
|
Konfigurasi Fungsional |
Parameter Teknis |
|
|
P×L×T(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Peralatan |
Berat bersih (kg) |
1000 |
|
Jarak bebas periferal (mm) |
600 di belakang, 600 di kedua sisi |
|
|
Ruangan |
Volume (L) |
Sekitar jam 9 |
|
Saluran (no.) |
4 |
|
|
Elektroda bawah (pcs.) |
2 (fungsi transisi) |
|
|
Modus makan |
Majalah |
|
|
Dimensi produk adaptif (mm) |
Lebar:40-100 Panjang:150-300 |
|
|
Elektroda |
Dimensi elektroda (mm) |
528×300 |
|
Catu daya RF |
Daya standar (kW) |
1 |
|
Frekuensi (MHZ) |
13.56 |
|
|
Kontrol gas |
Hingga tiga saluran |
2 saluran (standar), 3 saluran (opsional) |
|
Sistem kendali |
Antarmuka-manusia dan mesin |
PC+layar sentuh |
|
Antarmuka jarak jauh |
Komunikasi |
Opsional |
|
Pompa vakum |
Pompa kering opsional |
17CFM |
|
Pompa oli opsional |
195CFM |
|
|
Pompa kering opsional dengan fungsi pembersihan |
YA |
|
|
Laju aliran pembersihan nitrogen (SLM) |
2 |
|
|
Waktu menyedot debu (S) |
10月15日 |
|
|
Waktu pemutusan vakum (S) |
3-4 |
|
|
Fasilitas pabrik |
Catu daya |
Tiga-fase 380V50/60Hz 4,5kW(pompa oli) |
|
Dimensi & jenis proses |
Swagelok 1/4 inci |
|
|
Kemurnian gas proses |
Kelas industri ke atas |
|
|
Tekanan gas proses (psig) |
10-20 |
|
|
Dimensi & jenis pipa gas pembersih |
Swagelok 1/4 inci |
|
|
Membersihkan kemurnian gas |
Kelas industri ke atas |
|
|
Tekanan gas pembersih (psig) |
15 |
|
|
Dimensi & jenis pneumatik |
dorong 10 mm-pada pemasangan |
|
|
Kemurnian gas pneumatik |
Udara bertekanan,-bebas minyak, titik embun Kurang dari atau sama dengan 7 derajat, partikel<5 |
|
|
Tekanan gas pneumatik (psig) |
70-90 |
|
|
Udara terkompresi (mm) |
∅8 |
|
|
Kepatuhan |
Sertifikasi |
SEMI |
|
Peralatan tambahan |
Generator nitrogen (opsional) |
Opsional untuk pembersihan nitrogen |
|
Pendingin air (opsional) |
Opsional untuk pendinginan elektroda |
|
|
Kit hidrogen (opsional) |
Opsional untuk perawatan hidrogen |
|
|
Prosesor gas buang (opsional) |
Opsional untuk perawatan pembuangan fluor |
|
|
Angkutan |
Berat total (kg) |
1050 |
|
Jumlah paket |
1 |
|
|
Kemasan sesuai dengan standar SPM15 |
YA |
|
Tag populer: Sistem Perawatan Plasma Vakum Otomatis VP-10S, Sistem Perawatan Plasma Vakum Otomatis VP-10S